Depth resolved investigation of ion beam induced pattern formation on silicon using X-ray methods: = Tiefenaufgelöste Untersuchung der Ionenstrahl induzierten Musterbildung auf Silizium unter Verwendung von Röntgenverfahren
2014
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Monographie, Hochschulschrift, Elektronische Ressource
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Depth resolved investigation of ion beam induced pattern formation on silicon using X-ray methods: = Tiefenaufgelöste Untersuchung der Ionenstrahl induzierten Musterbildung auf Silizium unter Verwendung von Röntgenverfahren
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Verantwortlichkeitsangabe: | vorgelegt von Behnam Khanbabaee Patekhour |
Autor/in / Beteiligte Person: | Khanbabaee, Behnam |
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Veröffentlichung: | 2014 |
Medientyp: | Monographie, Hochschulschrift |
Datenträgertyp: | Elektronische Ressource |
Sonstiges: |
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