Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen: = Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications

von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang

Siegen: Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, Institut für Werkstofftechnik, Universität Siegen, 2016

Online Monographie, Hochschulschrift, Elektronische Ressource - 1 Online-Ressource (XI, 110 Seiten)

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Titel:	Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen: = Synthesis of aluminum nitride thin films utilizing magnetron sputtering on diamond for potential pseudo surface acoustic wave applications
Verantwortlichkeitsangabe:	von: Dipl.-Ing. Michael Vogel aus: Siegen, Deutschland ; Referent: Prof. Dr. rer. nat. habil. Xin Jiang
Autor/in / Beteiligte Person:	Vogel, Michael (1978-) ; Jiang, Xin
Körperschaft:	Universität Siegen
Lokaler Link:	Volltext [kostenfrei] Volltext
Link:	Verlag - Volltext (Open Access) Langzeitarchivierung Nationalbibliothek - Volltext (Open Access)
Verwandtes Werk:	Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik — Weitere Bände Erscheint auch als: Druck-Ausgabe: Herstellung von Aluminiumnitrid Dünnschichten mittels Magnetron Sputtern auf Diamant für potentielle Pseudo-Surface-Acoustic-Wave-Anwendungen / Michael Vogel
Veröffentlichung:	Siegen: Lehrstuhl für Oberflächen- und Werkstofftechnologie, Institut für Werkstofftechnik, Universität Siegen, 2016
Medientyp:	Monographie, Hochschulschrift
Datenträgertyp:	Elektronische Ressource
Umfang:	1 Online-Ressource (XI, 110 Seiten)
Sonstiges:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Gesamttitelangabe: Schriftenreihe der Arbeitsgruppe des Lehrstuhls für Oberflächen- und Werkstofftechnologie im Institut für Werkstofftechnik ; Band 11 Kurzfassung auf Englisch Universität Siegen Dissertation, 2016 Lokale Notationen: ZKS; ZLR; ZZZB Fächer: Maschinenbau; Ingenieurwissenschaft / Technik hbz Verbund-ID: HT019133113

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