Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr

von Christian Soll

2000

Online Hochschulschrift, Sammelwerk, Elektronische Ressource - 1 Computerdatei (ca. 5,70 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Symbolverzeichnis, ca. 103 KB)

Zugriff:

Hochschulschriften der Bergischen Universität Wuppertal (Volltext)

Titel:	Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Verantwortlichkeitsangabe:	von Christian Soll
Autor/in / Beteiligte Person:	Soll, Christian
Lokaler Link:	Hochschulschriften der Bergischen Universität Wuppertal (Volltext)
Link:	http://elpub.bib.uni-wuppertal.de/edocs/dokumente/fb13/diss2000/soll/
Verwandtes Werk:	Erscheint auch als: Druckausg. u.d.T.: Soll, Christian: Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Veröffentlichung:	2000
Medientyp:	Hochschulschrift, Sammelwerk
Datenträgertyp:	Elektronische Ressource
Umfang:	1 Computerdatei (ca. 5,70 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Symbolverzeichnis, ca. 103 KB)
Sonstiges:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Wuppertal, Univ., Diss. Lokale Notationen: UFZ Fächer: Physik hbz Verbund-ID: HT013251718

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