Experimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown Spectroscopy

von Stefan Geisler

2002

Online Hochschulschrift, Sammelwerk, Elektronische Ressource - 1 Computerdatei (ca. 2,28 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Verzeichnis der Konstanten, Symbole und Abkürzungen, Kurzfassung, Abstract, ca. 69 KB)

Zugriff:

Hochschulschriften der Bergischen Universität Wuppertal (Volltext)

Titel:	Experimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown Spectroscopy
Verantwortlichkeitsangabe:	von Stefan Geisler
Autor/in / Beteiligte Person:	Geisler, Stefan
Lokaler Link:	Hochschulschriften der Bergischen Universität Wuppertal (Volltext)
Link:	http://elpub.bib.uni-wuppertal.de/edocs/dokumente/fb13/diss2002/geisler/
Verwandtes Werk:	Erscheint auch als: Druckausg. u.d.T.: Geisler, Stefan: Experimentelle Untersuchung des Silizium-Sputterns in einer ECR-Mikrowellen-Ionenquelle mittels Cavity Ringdown Spectroscopy
Veröffentlichung:	2002
Medientyp:	Hochschulschrift, Sammelwerk
Datenträgertyp:	Elektronische Ressource
Umfang:	1 Computerdatei (ca. 2,28 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, Verzeichnis der Konstanten, Symbole und Abkürzungen, Kurzfassung, Abstract, ca. 69 KB)
Sonstiges:	Online-Ressource [Kann nicht per Fernleihe bestellt werden!] Wuppertal, Univ., Diss. Lokale Notationen: UFK; XVW Fächer: Physik; Elektrotechnik hbz Verbund-ID: HT013585884

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