Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für Oberflächenprozesse
2004
Online
Hochschulschrift, Sammelwerk, Elektronische Ressource
- 1 Computerdatei (ca. 18,8 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, ca. 111 KB)
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Titel: |
Numerische Strömungssimulation in 13,56-MHz-Hohlkathoden-Plasmajet-Plasmaquellen für Oberflächenprozesse
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Verantwortlichkeitsangabe: | von Volker Schaffert |
Autor/in / Beteiligte Person: | Schaffert, Volker (1971-) |
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Verwandtes Werk: | |
Veröffentlichung: | 2004 |
Medientyp: | Hochschulschrift, Sammelwerk |
Datenträgertyp: | Elektronische Ressource |
Umfang: | 1 Computerdatei (ca. 18,8 MB) ; Auszüge (Titel, Inhaltsverzeichnis, ca. 111 KB) |
Sonstiges: |
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